送收片機

適用範圍:

-4”~ 8”矽晶圓片

-太陽能晶圓片

製程:

-自動送片  

-噴砂 

-自動收片

規格:

-送片機:

• 噴砂機前段使用
• 將卡匣內wafer片自動送入噴砂輸送機內

-收片機:

• 用於噴砂機後段
• 自動收片

優點:

-無疊片刮傷

-提高效能

-可達到無人化控制

-良率提升

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