適用範圍:
-矽晶圓片
製程:
-將卡匣放至該位置上
-ROBOT從入料端取料至CCD區檢測
-檢測完成後ROBOT將晶圓片放置NG區或是出料區
規格:
-站別區分為: 入料1，入料2，NG，出料，CCD
-6" & 8" 矽晶圓片
優點:
-減少人力成本
-有效率精準檢測晶圓文字
Default Spec Desc
