適用範圍:
-矽晶圓片
製程:
-人員將卡匣放置未測1，未測2，OK1，OK2，重工，不可重工
-手臂取晶圓放置手檢區或是自動目檢區
-檢測完成後手臂取晶圓放置卡匣區
規格:
-8" 矽晶圓片
-可依使用者客製化
優點:
-效能高
-不產生刮傷
-靜音
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