適用範圍:
-矽晶圓片
製程:
-人員將卡匣放置未測1，未測2，OK1，OK2，重工，
-手臂取晶圓放置定心台
-定心完成後手臂取晶圓放置IR台檢測
-取像，數據收集
規格:
-8" 矽晶圓片
-可依使用者客製化
優點:
-效能高
-有效率精準檢測晶圓PINHOLE/瑕疵
-減少人力
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