適用範圍:
-矽晶圓片
製程:
-將卡匣放入置送片機之等待區(可放2座)
-載片時以單片方式將晶片傳送至主輸送帶
-晶片利用主輸送帶傳送承接載片區
-經過噴砂室
-噴砂完成後經由主輸送帶傳送至收片區
-收片區可獨立取放2座卡匣收取晶片
-完成後人員將卡匣拿起
規格:
-8" 矽晶圓片
-可依使用者客製化
優點:
-效能高
-良率提升
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