12 吋晶圓半自動目檢機

因應先進製程量產挑戰，12 吋晶圓目檢邁向高穩定自動化

在先進製程與高良率要求成為半導體產業主流的今天，晶圓目檢不再只是「看得清楚」，而是必須兼顧 穩定度、自動化整合與資料可追溯性。
我們推出的 12 吋晶圓半自動目檢機，正是為此趨勢而生。

設備採用 Class 10 等級潔淨架構，搭配雙 Load Port（支援 FOUP / FOSB）、高精度對位與邊緣接觸式傳輸設計，有效降低晶圓刮傷與人為風險。目檢模組整合翻轉、旋轉與多角度調整機構，讓正反面與邊緣檢測更直覺、更可靠。

在智慧製造方面，設備完整支援 SECS/GEM 與 MES 系統整合，可即時回傳機台狀態、Recipe、Lot 與 OCR 資料，協助客戶建立可追溯、可分析的檢測數據基礎，為後續製程優化與良率提升提供關鍵依據。

面對人力緊縮與產線彈性需求，本設備同時提供 人工目檢與自動運行模式，讓產線能依實際製程需求靈活切換，在效率與品質之間取得最佳平衡。

穩定、安全、可整合——
這不只是一台目檢機，而是協助晶圓廠邁向高效量產與智慧化管理的重要一環。