12吋晶圓自動換盒機
- 適用範圍:12” 矽晶圓
- 站別區分為:1. 卡匣平台
2. 轉換區
- 動作流程
- 產品特色
- 產品規格


- 支援不同卡匣之晶圓自動轉換 : 可依照客戶卡匣型式設計
- 具有Mapping功能; 穩定度提升!
- 降低人為風險
- 提升作業彈性與效率
| 型號 | WAT200-1220 |
|---|---|
| 產品尺寸 | ~ 1100mm (L) x 660mm (W) x 770mm (H) |
| 電源電壓 | 單相 110VAC 60HZ |
| 控制器 | PLC |
| 操作介面 | 觸控螢幕 |


| 型號 | WAT200-1220 |
|---|---|
| 產品尺寸 | ~ 1100mm (L) x 660mm (W) x 770mm (H) |
| 電源電壓 | 單相 110VAC 60HZ |
| 控制器 | PLC |
| 操作介面 | 觸控螢幕 |