12吋晶圓自動換盒機

  • 適用範圍:12” 矽晶圓
  • 站別區分為:1. 卡匣平台
    2. 轉換區

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  • 支援不同卡匣之晶圓自動轉換 : 可依照客戶卡匣型式設計
  • 具有Mapping功能; 穩定度提升!
  • 降低人為風險
  • 提升作業彈性與效率
型號 WAT200-1220
產品尺寸 ~ 1100mm (L) x 660mm (W) x 770mm (H)
電源電壓 單相 110VAC 60HZ
控制器 PLC
操作介面 觸控螢幕