12吋晶圓自動翻面機 (Auto Sorter)

  • 適用範圍：12” 矽晶圓
  • 站別區分為：1.Load port #1 (Unload)
    2.Load port #2 (Load)
    3.定心 / OCR檢測區
    4.機械手臂

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  • SECS/GEM300智慧通訊連線設備。
  • 穩定, 省空間, 低噪音。
  • 設備可混搭載FOUP/FOSB Cassette; 具有RFID讀取功能。
  • 可由Local手動設定進行翻面分片, 可做為Sorter使用。
型號 WGR1600-OCR-GEM300
產品尺寸 ~ 1600mm (L) x 1300mm (W) x 1900mm (H)
電源電壓 三相220VAC 60HZ
氣壓 5kg/cm^2
負壓源 -80kpa
重量 ~1200kg
控制器 PLC
操作介面 觸控螢幕+工業電腦主機/螢幕


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