12吋半自動目檢機

  • 適用範圍：12” 矽晶圓
  • 站別區分為：1. Load port
    2. 定心/ OCR檢測區
    3. 目檢載台
    4. 機械手臂
  • 應用行業：半導體

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  • SECS/GEM300智慧通訊連線設備
  • 穩定, 省空間, 低噪音
  • 設備可混搭載FOUP/FOSB Cassette; 具有RFID讀取功能
  • 可由Local手動設定進行晶圓分片串接
型號 WGR2185-2L-GEM300
產品尺寸 ~ 2300mm (L) x 2500mm (W) x 2000mm (H)
電源電壓 三相220VAC 60HZ
氣壓 7kg/cm^2
負壓源 -90kpa
重量 ~700kg
控制器 PLC
操作介面 觸控螢幕+工業電腦主機/螢幕


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