因應先進製程與智慧製造需求，提供高穩定、高潔淨的目檢解決方案。 支援 FOUP／FOSB、SECS/GEM 與 MES 整合，兼顧品質、效率與產線彈性。
支援多型式卡匣轉換，穩定定位取片，全面提升後段製程效率。
全自動化，視覺辨識系統，IOT工業4.0，可回報上位MES系統
高效率且精準的檢測晶圓PinHole與晶圓瑕疵。 可依客戶需求訂定晶圓尺吋， 如有需求與疑問請立即與我們聯繫。
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