全自動目檢機

  • 適用範圍:矽晶圓
  • 主要機構組成:1.未測1
    2.未測2
    3.OK1
    4.OK2
    5.重工
    6.不可重工
    7.手檢區
    8.自動目檢區

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  • 動作流程
  • 產品特色
  • 產品規格

 

 

  • 提高效能。
  • 不產生刮傷。
  • 晶圓資料存取。
型號 WGR1720-6
產品尺寸 ~1700mm (L) x 2200mm (W) x 2000mm (H)
電源電壓 單相 220VAC 50HZ
氣壓 5kg/cm^2
負壓源 -80kpa
重量 ~820kg
控制器 PLC
操作介面 觸控螢幕+工業電腦主機/螢幕