全自動晶圓針孔檢查機

  • 適用範圍：6" - 8" 矽晶圓
  • 站別區分為：1.入料1
    2.入料2
    3.OK1
    4. OK2
    5. NG
    6. 定心
    7. IR檢測

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  • 動作流程
  • 產品特色
  • 產品規格

 

 

  • 使用 Line Scan 具有效率精準檢測晶圓 PINHOLE/瑕疵。
  • 水平 ROBOT 取放晶圓有效提高產能。
  • 具有 Mapping 功能，有效偵測有片，無片，錯片。
  • Aligner 機構精準自動對圓心。
  • 優化 LOG 功能有效提高資料查詢。
型號 WGR1750-5-IR-2
產品尺寸 ~1800mm (L) x 1500mm (W) x 2200mm (H)
精度 >50um
產速 >100pcs/hr
電源電壓 單相 220VAC 60HZ
氣壓 5kg/cm^2
負壓源 -80kpa
重量 ~820kg
控制器 PLC
操作介面 觸控螢幕+工業電腦主機/螢幕


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